各有关单位、各位老师：

国家自然科学基金委员会发布2023年度指南引导类原创探索计划“芯片亚纳米级制造前沿探索”项目指南。请各有关单位仔细研读指南和形式审查等条件要求，积极组织申报。现将有关事宜通知如下：

一、科学目标

　　本项目围绕未来芯片制造面临的共性基础科学问题，旨在通过揭示表界面亚纳米级尺度的定域、定量、定势调控机制，建立亚纳米级精度表面与结构的可控加工方法，为发展原子级制造开展先导性探索，支撑新一代芯片制造关键工艺和装备能力的升级换代。

二、资助方向

　　（一）芯片制造过程中的亚纳米级去除新原理与新方法。

　　（二）芯片先进制程中的三维亚纳米级结构构筑新原理与新方法。

　　（三）第四代半导体材料的亚纳米级制造新原理。

　　（四）芯片亚纳米级制造过程中的缺陷检测与修复。

三、申请程序

项目申请分为预申请和正式申请两个阶段。

1、预申请

预申请提交时间为2023年11月24日-11月26日16时，以国家自然科学基金网络信息系统提交时间为准，在提交时间之外提交的申请将不予受理。申请人按照信息系统中的有关提示填写预申请相关内容后，直接提交至自然科学基金委。自然科学基金委受理预申请并组织审查，审查结果将以电子邮件形式反馈至申请人。

2、正式申请

预申请审查通过的申请人，应按照“专项项目-原创探索计划项目正式申请书撰写提纲”要求填写正式申请书，正式申请的核心研究内容应与预申请一致。正式申请书请于系统提交截止时间前三个工作日提交，并提前与二级单位及科研院联系。

四、材料报送

申请人按照项目指南要求填报预申请材料，学院审核后在基金委系统提交，同时将预申报书、形式审查表纸质材料各1份交至科技服务大厅。

五、其他事项

1、具体要求详见基金委通知: https://www.nsfc.gov.cn/publish/portal0/tab434/info90822.htm

2、后续工作安排如有调整将另行通知，请及时关注国家自然科学基金委和学校网站。

科研院科研基地建设办公室（自然科学项目）联系电话：62901951（吴老师）、62901115（赵老师）

科研院科研基地建设办公室

2023年11月14日